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第226章 粤州硅片厂(第2/2 页)

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将低纯硅与氯化氢(HCl)反应生成三氯硅烷(SiHCl?),然后通过蒸馏和化学气相沉积(CVD)将三氯硅烷还原为高纯度多晶硅。

纯度达到99.9999%�

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